本文摘要：2018年1月31日，由无锡华润上华科技有限公司与北京大学、东南大学、江苏物联网研究发展中心、中科院上海微系统所等8家单位牵头分担的国家02科技根本性专项“集成电路与传感器构建生产与生产技术”项目（全称“MEMS专项”）在无锡华润微电子通过项目月竣工验收。MEMS专项的主要研究任务和目标是重点积极开展集成电路与传感器构建生产（还包括芯片与MEMS生产和系统PCB）技术研发，解决问题并掌控与CMOS工艺线相容的MEMS规模生产的系列关键技术、构建产品设计与PCB技术。

2018年1月31日，由无锡华润上华科技有限公司与北京大学、东南大学、江苏物联网研究发展中心、中科院上海微系统所等8家单位牵头分担的国家02科技根本性专项“集成电路与传感器构建生产与生产技术”项目（全称“MEMS专项”）在无锡华润微电子通过项目月竣工验收。MEMS专项的主要研究任务和目标是重点积极开展集成电路与传感器构建生产（还包括芯片与MEMS生产和系统PCB）技术研发，解决问题并掌控与CMOS工艺线相容的MEMS规模生产的系列关键技术、构建产品设计与PCB技术。创建专业化、具备规模化生产能力的硅基集成电路与MEMS传感器对外开放代工平台，构建规模生产，沦为我国集成电路与传感器构建生产、生产与服务中心，为“感官中国”建设充分发挥核心承托平台起到。

在国家02科技根本性专项的大力支持下，MEMS专项通过产学研用的牵头、原始产业链横向统合的方式，突破多项MEMS传感器加工工艺的技术难题，解决问题了制约我国MEMS规模生产的工艺一致性、稳定性劣的关键问题，顺利创建国内首个与CMOS相容的MEMS专业代工规模量产生产线，以压力传感器、硅麦克风、红外传感器等为代表的六大量产工艺平台总生产量晶圆数超强6万片，培育了20多家国内MEMS设计公司。通过项目的实行，还培育了一支层次低、专业技术能力强劲的人才队伍，总计共计申请人了发明专利316件（其中国际专利27件），已许可165件（其中国际专利5件），创建了MEMS产品设计服务平台，以及MEMSPCB及测试服务平台，为增进我国MEMS自律研发体系的发展获取了很好的技术基础。专项竣工验收会议由中央候补委员、02专项筹办副总师王曦院士主持人，02专项筹办总师叶甜春亲临现场参与项目竣工验收、华润微电子陈南翔、张沈文等公司领导以及省市科技局的涉及领导参加了本次会议。

经过任务竣工验收专家组和财务竣工验收专家组对现场竣工验收资料的严肃审查、发言和辩论，验收组指出项目任务各项指标皆已超过合约拒绝，项目开支合乎涉及管理规定，竣工验收资料齐全，以任务竣工验收91分的高分一致同意项目通过月竣工验收。MEMS技术是华润上华经过近6年的希望，从无到有打造出的核心类似工艺平台，早已沦为华润微电子在国内有影响力的一张悦耳名片。此生产线的建设和工艺平台的研发，解决问题了国内MEMS产业发展过程中的瓶颈制约，一方面为MEMS产品的国产化做出了最重要贡献，推展了国内MEMS产业的发展；另一方面将在公司发展过程中起着十分关键的起到。

它不但为公司建构了较好的经济效益，MEMS系列工艺平台的毛利率在公司所有产品和技术中名列前茅；同时也是华润上华探讨功率半导体和传感器产品方向的最重要基础。竣工验收总结会上，02专项筹办总师叶甜春对该项目的顺利实行给与了高度评价。他说道MEMS项目是所有02专项项目中已完成情况最差的项目之一，获得这样的评分并不多见。

该项目是国家微电子产业发展战略布局中的重要环节，华润微电子作为项目联合单位，在项目实行过程中虽然遇上众多的为难和技术难题，但通过有效地的组织国内优质资源，持之以恒、坚持不懈地希望，最后获得了较好的效益，充分反映了参予项目的科研人员对微电子事业的执着和情怀；此项目也是推展“产学研”合作的顺利典范。项目统合了华润微电子、中科院微电子所、中科院微系统所、北京大学和东南大学的优质资源和前期研究成果，构建了科技成果的产业化。

最后，他期望华润微电子车站在低处共创未来，在更高的台阶上筹划企业的发展，沦为国内领先的微电子企业，为中国微电子产业的发展做出理应的贡献。

本文来源：博乐体育官网-www.littlesliceofterra.com